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下面的表格整理了這款儀器的主要技術規格，可以幫助你快速了解其性能。
6517B靜電計不僅僅是一臺靜電計，它集成了多種測量模式和強大功能：
一機多用：它同時是超高靈敏度的電流表、高輸入阻抗的電壓表、超高量程的電阻表以及電荷表。
獨特的電壓反接方法：在進行超高電阻測量（如絕緣材料）時，此功能可以有效消除背景電流和漂移的影響，從而獲得更準確、可重復的測量結果。
高速測試：讀數速率高達每秒425個，有利于提升測試效率。
正是這些特點，使得6517B在以下領域表現出色：
科學研究：納米技術、材料科學、物理學等領域的微弱信號檢測。
絕緣材料測試：測量聚合物、塑料等材料的體電阻率和表面電阻率。
半導體器件表征：I-V特性曲線測試、漏電流測量等。
工業生產與質檢：例如，漏電流、擊穿電壓和電阻的測試。
6517B靜電計核心參數一覽
測量功能
范圍
關鍵性能指標
電流
10aA (10×10?1?A) ~ 20mA
分辨率可達10aA，輸入偏置電流<3fA，噪聲低至0.75fA p-p。
電壓
10μV ~ 200V
輸入阻抗超過200TΩ。
電阻
100Ω ~ 10PΩ (101?Ω)
*高可測量10PΩ (即101?Ω) 的電阻。
電荷
10fC ~ 2μC
-
內置電壓源
0 ~ ±1000V
具備掃描功能，方便自動化測試。
核心功能與應用場景
